大多數水源溶解性二氧化硅（SiO2）的含量在1~100mg/L。過飽和SiO2能夠自動聚合形成不溶性的膠體硅或膠狀硅，引起陶氏反滲透膜的污染。陶氏反滲透膜系統濃水中的允許SiO2濃度限度取決于SiO2的溶解度。
濃水中硅的結垢傾向與陶氏反滲透膜進水中的情形不同，這是因為SiO2濃度增加的同時，濃水的pH值也在變化，這樣陶氏反滲透膜SiO2的結垢計算要根據原水水質分析和反滲透的操作參數（回收率）而定。
如果出現一定量的金屬，如Al3+的話，可能會通過形成金屬硅酸鹽改變SiO2的溶解度。陶氏反滲透膜硅結垢的發生大多數為水中存在鋁或鐵。因此，如果存在硅的話，應保證水中沒有鋁或鐵，同時采取陶氏反滲透膜預防性的酸性清洗措施。
? 為了提高陶氏反滲透膜系統回收率，進行石灰－純堿軟化預處理時，應添加氧化鎂或鋁酸鈉以減少進水中的SiO2濃度，同時確保軟化過程有效運轉十分重要，以防止反滲透系統會出現難溶金屬硅酸鹽；
? 由于pH值低于7或pH值高于7.8，可以增加硅的溶解度，就防止陶氏反滲透膜硅結垢而言，加酸或加堿可以提高水的回收率，但在高pH條件下，要防止CaCO3的沉淀；
? 當采用熱交換器增加進水溫度時，就二氧化硅的結垢而言，可以顯著地提高水的回收率，但陶氏反滲透膜系統的允許溫度不超過45℃；
? 高分子量的聚丙烯酸酯阻垢劑可以用于增加二氧化硅的溶解度。
